碳化硅烧结炉突出特征

更新时间：2020-10-19

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碳化硅烧结炉两侧出料，炉膛由外至内分别由支撑框架、碳毡保温层、石墨板反射屏、石墨棒发热体、承料托板构成。
石墨发热体通过水冷电极与外部连接，以延长使用寿命。
发热炉腔采用方形结构，发热体采用高功率电极石墨发热。
双层水冷结构,可抽负压真空；具有真空管道接口，增加真空破坏阀，安全气压阀，充气孔，真空仪表、麦氏真空计等。

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